Насосы криогенные
Криогенные насосы – насосы для создания и поддержания высокой и сверхвысокой степени разрежения газов. Применяются для обработки кислорода, водорода, метана, неона, аргона, азота. В качестве действующего охлаждающего газа выступает гелий. Широко применяется в процессе добычи ископаемых из недр земли, в составе вакуумных испарителей, для изготовления оптических приборов и при нанесении тонких пленок на носители информации, при выпуске медицинской и фармацевтической продукции.
Фильтр
Фильтр
Недостатки:
- необходимость цикла регенерации после цикла откачки;
- хотя и большая, но ограниченная емкость - для постоянной круглосуточной работы необходимо два насоса: один откачивает, другой проходит цикл регенерации;
- криогенный насос не должен использоваться для откачки легковоспламеняющихся газов;
- следует избегать накопления в криогенном насосе кислорода и агрессивных газов;
Достоинства:
- высокая быстрота откачки паров воды и газов с высокой молекулярной массой;
- отсутствие шумов и вибраций при работе;
- полностью "стерильный" вакуум
- надежность, большой ресурс
Конструкция и принцип действия криогенного насоса
Криогенный насос состоит из корпуса, в котором размещены криоголовка и система экранов и панелей. Криогенные насосы относятся к насосам конденсационного типа - откачка происходит за счет конденсации газов и паров поверхностью, охлажденной до сверхнизких (гелиевых) температур. Система экранов и панелей, охлаждаемых криоголовкой, образует несколько ступеней откачки. Первая ступень (на входе насоса) охлаждается до 60-100К служит для конденсации молекул водяного пара и тяжелых углеводородов. Вторая ступень охлаждается до 10-20К и предназначена для конденсации молекул аргона, азота, кислорода и других газов. Для адсорбции газов, которые не переходят в твердую фазу используется активированный уголь. Еще ниже располагается третья ступень откачки, содержащая гранулы углерода, адсорбирующие оставшиеся молекулы газа.
Криоголовка фактически является рефрижератором, обеспечивающим охлаждение гелия (на вход насоса от компрессора поступает гелий комнатной температуры), и содержит камеры сжатия и теплообменники. Гелиевый компрессор присоединяется к криоголовке насоса посредством гибких металлических трубопроводов. Насос оснащен датчиком давления и несколькими датчиками температуры.